製品属性(仕様)

製品
分類
装置部品 業界半導体
加工
分類
旋盤、マシニング、研磨 加工
精度
平面度・平行度0.005mm以下
材質アルミ(A5052)+黒アルマイト 寸法φ132×4L

製品画像(様子)

特徴

アルミ(A5052)を旋盤、マシニング、研磨にて加工した装置用の精密加工部品ですが、素材に吸着用の溝を彫りこんだ後に平面研削にて平面度・平行度5μm以下という高い精度の加工を実現しています。アルミは展延性の高い難削材でありバリが発生しやすい特徴があります。また溝を彫りこんだ後の加工であるため上記公差をクリアすると同時に溝部のバリ発生を極限まで抑えた高度な加工技術が必要です。