製品属性(仕様)

製品画像(様子)

特徴

この精密装置部品は、平面度・平行度5μm以下の高精度研削加工を行ったステンレス（SUS304）製のウエハステージです。被削材がSUS304で展延性、加工硬化性の高い難削材であるため、高い加工技術と材質に合わせた砥石選定（粒度、結合度など）が重要となります。また、ウエハステージへの溝加工はマシニングセンターにて行っており、1mmの溝の段差加工を行っています。超硬加工.COMはこうしたステンレスの精密加工にも対応いたします。