製品属性(仕様)

製品
分類
装置部品 業界半導体
加工
分類
放電、ワイヤーカット、研磨 加工
精度
±0.005mm
材質タングステン 寸法25㎜×40㎜×3.8㎜

製品画像(様子)

特徴

このタングステン製のタングステンパーツは、半導体製造装置のパーツになります。中心部の4穴の加工はテーパー加工後、放電加工にて下穴をあけ、ワイヤーカット加工機よる高精度加工を施しております。
また、平行度、平面度ともに、0.005㎜以内であり精密装置部品としての基準をクリアしております。超硬加工.COMでは、この様な精密加工部品の製作を得意としており、様々な加工設備、ノウハウ等を駆使し短納期にて色々なタイプの精密部品をお客様に提供しております。また材質はタングステンの他にも、インコネル、モリブデン、超硬等、難削材にも対応しておりますので、お気軽にお問い合わせ下さい。